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[답글]그래핀
/ 작성자 / : 관리자 2017-11-21

그래핀맨 님 쓰신글 제목 : 그래핀 UHV 그래핀 공정시 온도와 공정압력과의 연관성이 궁급합니다.



[답변]

UHV 그래핀 공정?
UHV 챔버에서 진행되는 공정인것은 알겠습니다.
진공 상태에서 히팅을 하면서 그래핀을 만드는 것 같은데.
플라즈마를 이용하는 것인지? 플라즈마 없이 진행되는 공정인지 모르겠네요.

어쨓거나, 그래핀 합성 방법은 다양한 방법이 시도 되고 있으며,
대부분 공정 온도는 매우 높습니다. 보통 1000도 이상이라고 생각 하면 될 것 같습니다.
플라즈마를 이용한 방식을 보면, 500도 이하에서도 가능한 것이 있습니다.

공정 압력 역시 어떠한 가스를 사용하고, 방식이 어떠한 방식인가에 따라서 매우 넓은 폭의 공정 압력폭을 가지고 있습니다.

두가지의 연관성은 매우 높습니다.

그래핀 합성 공정에서 가장 중요한 조건은 

1. 합성온도
2. 공정 가스의 유량
3. 공정 압력
4. 공정 플로우
5. 공정 가스의 일정한 분압

뭐 이런 것들이 모두 연관되어 있다고 생각하시면 될 것 같습니다.

최종 공정 조건은 낮은 온도에서 낮은 압력으로 그래핀 합성 조건을 찾을 수 있다면,
질 좋은 그래핀을 합성  수 있다고 생각 됩니다.